联系我们

电子材料

半导体制程中产生的化学废弃物,如何回收再利用,达到净零减碳目标

2024-04-14

「半导体」是透过将晶圆片原料,经由多道光学显影、蚀刻、薄膜沉积等步骤制造而成,广泛应用于资讯通讯、工业仪器、太空运输等领域中,是生活必不可少重要零组件 。


在繁复的半导体制造过程中,同时也产生许多化学废弃物,如有机废液、酸性废气等,如何管理、降低半导体制程化学废弃物是现今产业共同努力的目标。


李长荣(以下简称 LCY)透过全球首创的「EIPA双循环机制」,帮助半导体产业降低碳排、减轻环境负担,打造经济与环境的永续共荣。


半导体制程的先进程度与化学品用量息息相关

在半导体产业中,常见使用的化学品为「电子级异丙醇」,多用于IC、TFT-LCD、LED 及PV 的清洗制程,对于去除水痕与粒子有显著效果,是影响成果品质的关键 化学品。


随着半导体技术越来越高阶,对于晶圆的纯度、洁净度要求也更为严苛,EIPA的使用量也随之增加,然而半导体产业在考量导入分流管理技术并重布回收管线工程的难度, 与法令对废弃物回收/运输的繁复规范后,多采焚烧处理,不仅制造大量二氧化碳,亦无法有效循环可用资源。


首创「EIPA 双循环回收」,减废、减碳提升产业绿色竞争力

为了减少地球资源耗用、降低对环境负担,同时支持产业良性发展,LCY 经过多年的研发以及与客户双向沟通,改良传统废液回收处理方式,创造「EIPA 双循环回收」模式,达到经济与环境 共好的成果。


LCY透过回收客户制程中的异丙醇废液,进一步纯化回到同等级的电子级异丙醇,达成第一个「化学品循环」;第二道「水循环」则将废液中的水完全 回收,提供工厂内部重复使用,达到零液体排放,有效运用资源。


绿色制造是现今科技产业关键的营运策略之一,半导体废弃物管理、水资源管理等半导体产业化学污染议题,更是备受瞩目的焦点。


自2015 年开发新技术至今,LCY 已达到每月7500~10,000吨废液回收的能力,「EIPA双循环模式」,将废液精制再利用,解决燃烧废弃物所产生的大量碳排放问题,并 降低一次性使用的石化资源枯竭危机,推动产业供应链绿色转型,与客户共同打造企业绿色竞争力。


若您对相关应用有其他询问或需求,也欢迎留下联络方式,我们将派专人与您接洽联系。